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首頁 / 產品中心 / 低壓真空等離子設備 / 工業(yè)真空等離子清洗機（射頻） / 真空等離子體清洗設備NE-PE210F

產品簡介

NE-PE210F是一款中大型真空等離子體清洗設備，適用于大規(guī)模工業(yè)生產使用。等離子體清洗通過其中的活性離子與物體表面發(fā)生化學反應來達到清洗的目的。例如通過氧氣清潔物體表面的有機物，產生氧化反應，氧等離子體和污染物產生二氧化碳、氧化碳和水。通過氮氣電離形成的等離子體可以與部分子結構發(fā)生關鍵反應，因此它也是一種活性氣體，但與氧氣和氫氣相比，顆粒相對較重；在清洗和活化的同時，可以達到一定的轟擊和蝕刻效果，防止部分金屬表面氧化。如今，等離子清洗機廣泛用于當代半導體、電路等行業(yè)，在元件封裝前、芯片鍵合前可借助等離子清洗處理，其優(yōu)點是清除效率高，不會對樣品表面造成損傷，從而提升產品的質量。

產品參數(shù)

型號	NE-PE210F
等離子頻率	射頻13.56MHz 自動阻抗匹配
極限真空度	10Pa
功率	0-1000W可調
腔體材質	316不銹鋼/鋁合金（可選）
腔體尺寸	600(W)600(D)600(H)mm
腔體容積	210L
單層有效處理面積	W560mm x D520mm
氣路數(shù)量	2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣等，腐蝕性氣體需提前說明
極板間距	54mm（可調整）
處理層數(shù)	8層（可定制）
控制方式	PLC+觸摸屏
真空泵	油泵/干泵（可選）
電源	AC380V,50/60Hz
外形尺寸	1350mm(L)×1200mm(W) ×1850 mm(H)